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国家自然科学基金杰出科学家浙江行 暨科学仪器类项目成果展
来源:http://www.jc.ac.cn  发布时间:2019-12-05  点击次数:722

      2019年1128-30日,国家自然科学基金杰出科学家浙江行(暨科学仪器类项目成果展)年底总结会在嘉兴成功召开。期间在研究院副院长夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、吕达仁院士、戴琼海院士出席参观;其中长光所原副所长申德振、半导体所原副所长俞育德、电工所副所长韩立、北京大学教授张志勇、中山大学教授刘阳辉、复旦大学教授孙清清、浙江大学教授王宏涛等专家参加专题研讨会。

专家及项目组成员合影

      一百多位专家及项目组成员于29号去往南湖之畔,参观了国家自然科学基金成果展、及科民电子展出的双腔ALD、等离子体ALD、集束薄膜沉积、光刻机等高端仪器设备,并产生了浓厚的兴趣,达成了采购意向。 

项目负责人夏洋为相关专家介绍设备研发亮点

 

科民双腔ALD设备

科民等离子体ALD设备

 

科民集束薄膜沉积设备

科民光刻机

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