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全真空多种薄膜制备集成设备——验收公示
来源:http://www.jc.ac.cn  发布时间:2020-07-24  点击次数:339

浙江中科院应用技术研究院

关于中科专项项目验收结果的公示

参照《嘉兴市科技计划项目验收管理办法(试行)》有关规定,现将已经组织验收的中科专项项目的验收情况及结果(见下表),向社会公示。对公示项目验收结果有异议的,自公布之日起10日内,以真实身份,书面向我院提出,我院按规定对异议人身份予以保护。

联系地址:嘉兴市南湖区亚太路778号浙江中科院应用技术研究院

邮政编码:314022

联系人:黄  盾(浙江中科院应用技术研究院项目部)

         张丽娇(浙江中科院应用技术研究院项目部)

联系电话: 0573-82585083

 

项目名称

全真空多种薄膜制备集成设备

项目负责人

夏洋

验收日期

2020724

项目承担单位

中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心

验收结果

合格

验收组成员

邹少丞、宋志棠、唐普洪、颜海涛、刘成雄、吴劲松

验收意见

一、提供资料齐全、规范,符合验收要求。

二、项目对PVD制备薄膜工艺、磁控溅射工艺和TALD制备薄膜工艺等进行了研究,开发出全真空多种薄膜制备集成设备。该设备将PEALDALD以及PVD集成于同一腔体内实现设备小型化;采用旋转托盘样品传输系统代替传统的机械手样品传递系统,提高了传输速度,同时提高整个系统的真空度。项目实施期间申请国家专利1项,形成原型机1台。

三、项目产品经中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室测试,所测指标符合合同书规定的要求。项目经北京珀菲特科技有限公司、宜兴凯甲科技有限公司等使用,反映良好。

四、项目预算总经费150万元,其中中科专项经费预算30万元。项目经费经嘉兴恒信会计师事务所有限公司(嘉恒会专审(2020142)审计, 确认项目实际支出146.94万元,其中中科专项经费支出30万元。经费能单独建帐、独立核算,基本符合浙江省科技项目经费管理相关规定。

验收组同意项目通过验收,结论合格。

发布机构

浙江中科院应用技术研究院

发布时间

2020.7.24

 

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