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微电子所等离子体产业化项目有望落户嘉兴中心

来源：本站提供发布时间：2009-02-25 点击次数：2484

　　中国科学院微电子研究所所长助理夏阳于2月17日，带领等离子体项目课题给来嘉兴洽谈，并取得了双方满意的合作意向，微电子所等离子体产业化项目有望落户中科院嘉兴中心。
　　中国科学院微电子研究所已成功研制出常压等离子体处理纺织面料设备，这是目前国内最大型的常压等离子体处理设备，也是国内目前为止按照实际生产线要求研制的第一台等离子体处理设备。

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