2009年7月28日，嘉兴市机构编制委员会正式批复同意，成立中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心，为嘉兴市事业法人。至此中科院嘉兴中心已引进中科院研究所成立了第15家工程中心。
　　此前，中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心（筹）召开了第一届理事会第一次会议，通过工程中心章程，聘任了中心领导班子，其核心科研团队4人（研究员1人任主中心主任，副研究员1人，海归博士2人）到嘉兴，以“常压等离子体用于高档纺织面料后处理产业化项目”和“医疗仪器产业化项目”为启动，开展了项目启动和中心筹建工作。