项目内容简介

    由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，这样一个冷凝表面与相关制冷系统就是本项目提出的高真空深冷水汽捕集器（理化所多年研究的深冷混合工质节流制冷技术）；与分子泵合称为低温分子泵。水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵，既提高了生产效率又改善了产品质量。随着我国航天、核技术、新材料、表面科学、薄膜技术、半导体等高技术领域迅速发展，分子泵将成为我国真空泵制造业发展的重点。

项目总投资

280万元

项目准备

或进展情况：

通过从两个系列（外置式和内置式捕集阵列）中选取有一定代表性的4个规格型号，进行分规格型号的中试放量，形成完整的新型高真空深冷水汽捕集器批量生产所需的关键技术和工艺流程的规范文件，对一些特殊工艺研制出所必需的关键生产工艺设备，基于此文件可以实现批量生产。