为了促进原子层沉积(ALD)领域科技工作者之间的沟通与交流,搭建高等院校、科研院所、相关企业的合作平台,推动我国ALD技术的进一步发展及其产业化应用,由中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心提出申请,经中国仪器仪表学会
研究决定:
同意成立原子层沉积专业委员会,中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心作为专委会秘书处挂靠单位,我院夏洋研究员担任主任委员,嘉兴科民电子设备技术有限公司陈波担任秘书长,嘉兴科民电子设备技术有限公司万军、贾毅担任副秘书长。
中国仪器仪表学会唐逾副秘书长在于2015年08月28日~29日杭州举办的首届“中国ALD技术交流与学术研讨会”上发表致辞,祝贺ALD专业分会的成立,向中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心授牌,并向夏洋研究员颁发聘书,聘任夏洋研究员为ALD专业分会主任委员。在此,ALD专业分会诚邀广大业内人士的加入。