本项目研制了具有完全自主知识产权的大规模生产型ALD 设备并将其用于钝化太阳能硅片，可实现同时钝化400 片156mmX156mm 规格的硅片，填补了国内大规模批量生产型太阳能硅片 ALD 钝化设备的空白， 为国内企业提供性价比较高的太阳能电池表面钝化设备，促进嘉兴市太阳能电池生产企业及配套 产业的发展。本项目的开发成功将首先在嘉兴和浙江当地等光伏生产企业（如海宁晶科能源等）推广使用，使其光伏组件的光电转换效率达到世界同类产品先进水平（18％以上），降低生产成本，提高其产品竞争力，同时进一步提升嘉兴产业结构，促进当地经济发展。
    项目前景：
    采用表面钝化技术可将晶硅太阳能电池的转换效率提高1%～2%。2010年全球光伏电池产能达21GW，因此采用钝化技术，相当于产生了约0.2～0.4GW的产能，按晶硅太阳能电池占总产能的80%及每瓦1.3美元的单价计算，通过钝化技术产生的经济效益约为2～4亿美元，2011年在全球经济不景气的情况下产能仍达24GW，按晶硅太阳能电池占总产能的80％及每瓦1美元的单价计算，通过钝化技术产生的经济效益仍保持在1.6～4亿美元左右，预计到2015年，全球太阳能电池产能将达到50GW，通过钝化技术产生的经济效益将十分可观。