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前瞻创新成果转化平台-纳米磨料与抛光液研发技术

研究方向：

高密度相变存储器方向

高纯胶体二氧化硅磨料的可控制备技术

材料表面的高效移除技术

晶圆表面的均匀抛光技术

图形晶圆表面的缺陷控制技术

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