浙江新创纳电子科技有限公司2013年11月19日落户于浙江海宁斜桥镇,由上海新安纳电子科技有限公司投资设立,是一家专门致力于电子级纳米磨料和抛光液技术开发、生产、销售和服务的高科技企业。目前主要从事电子级二氧化硅纳米磨料和抛光液的技术开发、生产、销售和服务。
新创纳公司建有先进的电子级磨料和抛光液生产线,拥有完整的磨料和抛光液制备、检测、抛光验证系统,是目前中国技术领先的电子级胶体二氧化硅、蓝宝石抛光液和硅片抛光液供应商,产品质量和技术能力得到了国内外知名公司的认可。经过一期和二期的建设,以及上海新安纳公司搬迁至新创纳公司相关建设,公司现在已经具备年产一万吨的电子级硅溶胶和抛光液的生产能力,公司研发和生产的电子级硅溶胶、蓝宝石抛光液、金属抛光液和硅片抛光液已成功应用与数十家电子和光电子行业的公司,成功替代了相应的进口产品。
新创纳公司在宋志棠博士和刘卫丽博士的带领下,既有纳米材料制备的材料专家,也有来自于抛光液公司对于磨料的需求和技术发展具有深刻理解的人才,也有在集成电路半导体化学机械平坦化与抛光方面的微电子专家,这几类人才可以保证新创纳产品在化学机械抛光上具有较强的优势。另外公司管理队伍整体素质较高,有着良好的知识结构、年龄结构,富有激情和创新精神。
本项目团队成员在CMP抛光液和抛光技术方面已申请了较多的专利,目前已有授权专利51项(1项美国专利),包括磨料的制备、硅片抛光液、氧化硅抛光液、相变材料抛光液、金属抛光液等。
以新创纳公司为依托的纳米电子材料和器件工程中心较好地结合了中科院上海微系统与信息技术研究所和嘉兴市政府的资源,目前已有较好的研发平台。在集成电路抛光液方面与华为、青岛芯恩、中芯国际、华宏宏力、合肥晶合、韩国SK Technology等建立了战略合作关系。并且与美国应用材料公司(Applied Materials)建立了联合实验室,共享仪器设备,共同开发SiC和大硅片等集成电路抛光液。
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