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中国科学院上海微系统与信息技术研究所海宁纳米电子材料与器件中心

来源:http://www.jc.ac.cn 发布时间:2020-12-28 点击次数:547


中国科学院上海微系统与信息技术研究所海宁纳米电子材料与器件中心(以下简称“中心”)成立于2013年9月,是中国科学院上海微系统与信息研究所、嘉兴市政府、海宁市政府三方共建的工程中心。中心目前有员工63名,其中博士6名,高级职称的3名。中心已申请56项发明专利,其中授权38项,国际专利3项。根据国家的战略部署,在国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺(简称国家02专项)项目支持下,专门致力于电子级纳米磨料和抛光液技术开发、生产、销售和服务。

我国正在成为国际上重要的集成电路生产基地,而抛光液全部依赖进口,从国家信息技术的安全性考虑和我国自主芯片与技术的角度均需要尽快突破国外的封锁。LED、智能手机等新兴电子产业的制造也需要大量的抛光液。针对这些热点,国家、上海市和中国科学院给予了大力支持,中心作为国家队承担了国家“十一五”重大专项、国家“十二五”重大专项、上海市纳米专项、张江重点项目等重要项目,目标是填补我国芯片行业关键材料供应链上的空白,为促进产业转型作出贡献。

【研究领域】

电子级二氧化硅纳米磨料

硅片抛光液

蓝宝石抛光液

金属抛光液

集成电路抛光液

孵化公司

由工程中心孵化的公司上海新安纳电子科技有限公司成长迅速。其生产的高效率蓝宝石抛光液国内市场占有率超过80%,国际市场占有率居第一。金属抛光液大规模应用于富士康等大型手机加工厂,产品获得2014年度国家新产品证书。公司的“电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化制备关键技术”获得2016年度上海市技术发明一等奖。2013年获得上海市专利试点企业称号。


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