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中国科学院微电子研究所嘉兴微电子仪器与设备工程中心

来源:http://www.jc.ac.cn 发布时间:2020-12-28 点击次数:921

中国科学院微电子研究所嘉兴微电子仪器与设备工程中心成立于2009年4月,是中国科学院微电子研究所与嘉兴市人民政府共同组建的技术转移转化、研发、中试和高新技术产业孵化的创新平台机构。中心位于浙江中科院应用技术研究院园区9号楼南区,现有场地面积3000余平方米,其中专业实验研发基地面积1280平方米。现有研发团队26人,其中正高级职称4人,副高级职称1人,博士5人,硕士4人。

工程中心依托中科院雄厚的研发力量、人才优势和综合技术实力,立足嘉兴,辐射长三角,以应用科学研究为基础,以技术研究、技术推广、项目合作、人才培养为合作领域,开展微电子成套设备技术研发与应用,设立重点实验室、工程中心和孵化基地,大力推动微电子成套设备技术在地方经济发展中的作用。致力于包括原子层沉积技术在内的IC、LED及光伏领域设备和工艺的研究与生产。已研制成功原子层沉积系统(ALD)、KE-320型高亮度LED图形化衬底刻蚀系统等产品,并具有完全自主知识产权,达到国际先进水平。

【研究领域】

国家科技重大专项子项目《45nm以下颗粒检测与化学沾污检测集成系统的研发》

浙江省科技项目《用于光刻胶抗刻蚀能力强化的连续渗入合成(SIS)设备及技术开发》



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